経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 年報 機械統計編 平成27年 年報
表 - 平成27年 生産・出荷・在庫統計 ２．製品統計表（時系列）【はん用・生産用・業務用機械】 （57）半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003168735
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201501-201512
データ件数: 897 件
公開日: 2016-12-28
最終更新日: 2023-04-25
| メタデータコード | メタデータ名称 | コード | レベル | 名称 |
| cat01 | 統計項目A(機械)_統計表 | 01000100 | 1 | 生産 数量 (台) |
| cat01 | 統計項目A(機械)_統計表 | 01010100 | 1 | 生産 重量 (t) |
| cat01 | 統計項目A(機械)_統計表 | 01030100 | 1 | 生産 金額 (百万円) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571000000 | 1 | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571100000 | 2 | 半導体製造装置 (1～7) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571110000 | 3 | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571120000 | 3 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571121000 | 4 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571122000 | 4 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571123000 | 4 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571124000 | 4 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571130000 | 3 | 半導体製造装置 組立用装置 (6) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571140000 | 3 | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571200000 | 2 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571210000 | 3 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571220000 | 3 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571230000 | 3 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) |
| cat02 | 品目D（機械）_統計表 | 571240000 | 3 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) |
| time | 年月（期付） | 0023000000 | 1 | 平成23年 |
| time | 年月（期付） | 0024000000 | 1 | 平成24年 |
| time | 年月（期付） | 0025000000 | 1 | 平成25年 |
| time | 年月（期付） | 0026000000 | 1 | 平成26年 |
| time | 年月（期付） | 0027000000 | 1 | 平成27年 |
| time | 年月（期付） | 0025010000 | 1 | 平成25年度 |
| time | 年月（期付） | 0026010000 | 1 | 平成26年度 |
| time | 年月（期付） | 0027000103 | 1 | 平成27年 1 ～ 3 月 |
| time | 年月（期付） | 0027000406 | 1 | 平成27年 4 ～ 6 月 |
| time | 年月（期付） | 0027000709 | 1 | 平成27年 7 ～ 9 月 |
| time | 年月（期付） | 0027001012 | 1 | 平成27年 10 ～ 12 月 |
| time | 年月（期付） | 0027000101 | 1 | 平成27年1月 |
| time | 年月（期付） | 0027000202 | 1 | 平成27年2月 |
| time | 年月（期付） | 0027000303 | 1 | 平成27年3月 |
| time | 年月（期付） | 0027000404 | 1 | 平成27年4月 |
| time | 年月（期付） | 0027000505 | 1 | 平成27年5月 |
| time | 年月（期付） | 0027000606 | 1 | 平成27年6月 |
| time | 年月（期付） | 0027000707 | 1 | 平成27年7月 |
| time | 年月（期付） | 0027000808 | 1 | 平成27年8月 |
| time | 年月（期付） | 0027000909 | 1 | 平成27年9月 |
| time | 年月（期付） | 0027001010 | 1 | 平成27年10月 |
| time | 年月（期付） | 0027001111 | 1 | 平成27年11月 |
| time | 年月（期付） | 0027001212 | 1 | 平成27年12月 |