経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003055019
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201003
データ件数: 42 件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
| メタデータコード | メタデータ名称 | コード | レベル | 名称 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570000000 | 1 | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570010000 | 2 | 半導体製造装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570010100 | 3 | ウエハ製造用装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570010300 | 3 | ウエハプロセス用処理装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570010310 | 4 | 露光・描画用装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570010320 | 4 | エッチング装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570010330 | 4 | 薄膜形成装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570010399 | 4 | その他の装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570010500 | 3 | 組立用装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570010700 | 3 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570030000 | 2 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570030010 | 3 | ガラス基板製造用装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570030020 | 3 | ガラス基板プロセス用処理装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570030030 | 3 | パネル工程用装置 |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570030040 | 3 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) |
| cat01 | 統計品目１-２(機械) | 570040000 | 1 | 半導体・IC測定器 |
| cat02 | 統計項目１-２(機械) | 0001000 | 1 | 生産 数量(台) |
| cat02 | 統計項目１-２(機械) | 0011000 | 1 | 生産 重量(t) |
| cat02 | 統計項目１-２(機械) | 0012000 | 1 | 生産 金額(百万円) |