経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 年報 平成24年 年報
表 - 平成24年 生産・出荷・在庫統計 ２．製品年表 （57）半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003099755
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201201-201212
データ件数: 39件
公開日: 2014-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_年表 | 品目A（機械）_年表 | 値 |
|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 239 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 2492 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 840 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 1279 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 9301 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 9285 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 110 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 506 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 332 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 305 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 953 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 15306 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 2495 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 10071 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 7046 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 6770 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 904 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 8370 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 2301 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 1619 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 1017232 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 819684 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 13882 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 588925 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 99722 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 303512 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 85290 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 131587 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 197548 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 72190 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 85184 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 15843 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 24331 |