経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003057795
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201009
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 145428 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 104878 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 56 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 292 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 3045 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 312 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1605 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 64424 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 132 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 431 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 18088 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 140 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 1031 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 26910 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 1451 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 1259 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 14100 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 794 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 857 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 23309 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 40550 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 14 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 72 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 13225 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 52 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1150 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 14571 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 35 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 467 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 4348 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 89 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 1519 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 8406 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 1590 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 16944 |